多层膜反射式高精度金属圆光栅及其制作方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
多层膜反射式高精度金属圆光栅，其特征在于：包括金属基板，在金属基板上蒸镀至少4层膜的膜层，其膜层顺序为介质膜、亮线条、介质膜、暗线条，其制作方法如下：(1)光栅金属基坯材料，如不锈钢、钛合金等抗腐蚀性好的材料经失效、粗磨、光学抛光至金属镜面；(2)在金属镜面上真空蒸镀多层所需要的金属膜层；(3)在蒸镀好的金属膜层表面涂上光刻胶；(4)通过光化学反应从高精度玻璃光栅上复制、腐蚀出高、低反射率线条的接近母版精度的高精度圆光栅。本发明适用于高精度角度编码器，且结构简单、成本低、强度高。
基本信息
专利标题 ：
多层膜反射式高精度金属圆光栅及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790068A
申请号 ：
CN200510130717.9
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周翠花李代学岳永坚余光清代冬军张鑫梁跃兵
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
610209四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘秀娟
优先权 ：
CN200510130717.9
主分类号 ：
G02B5/18
IPC分类号 ：
G02B5/18 G03F7/20 G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2009-11-18 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-03-05 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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