一种反射式无指示光栅光学测量装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种反射式无指示光栅光学测量装置，包括光源、反射主光栅和接收器，光源、接收器设置在反射主光栅的同一侧，光源产生入射光线照射到反射主光栅上形成反射光线，接收器设置在反射光线的光路上反射主光栅上至少有3N+1根平行间隔排列的矩形光栅刻线，接收器上设有用于光电信号转换的硅光晶片，硅光晶片上设有4M+1块平行间隔排列的矩形光刻栅片；光栅刻线的宽度、相邻两光栅刻线的栅距、光刻栅片的宽度均为W，相邻两光刻栅片的栅距为W/2，N、M均为自然数。本实用新型的反射式无指示光栅光学测量装置具有测量准确性好、测量精度高和产品一致性好的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种反射式无指示光栅光学测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020558211.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-15
授权号 ：
CN211783311U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
甘天才
申请人 ：
广东光栅数显技术有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇沙头社区合兴路84号E座
代理机构 ：
广东腾锐律师事务所
代理人 ：
陈培华
优先权 ：
CN202020558211.8
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
