正交误差抑制系统及MEMS陀螺
授权
摘要
本发明提供了一种正交误差抑制系统及MEMS陀螺，该系统包括：驱动信号调节模块，其输出端分别连接正交误差信号抑制模块以及MEMS陀螺的解调模块；检测信号调节模块，其输出端连接正交误差信号抑制模块；正交误差信号抑制模块，其输出端连接解调模块；正交误差信号抑制模块，用于将驱动信号调节模块输出的相位调节后的驱动信号和检测信号调节模块输出的滤波处理后的检测信号进行幅度处理，将得到的直流信号与相位调节后的驱动信号进行信号重构，得到正交误差信号，并将检测信号中的正交误差信号进行抑制后得到检测信号中的哥氏力检测信号，从而不需要引入额外的专用结构和电极即可消除正交误差，从而降低工艺难度。
基本信息
专利标题 ：
正交误差抑制系统及MEMS陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112762917A
申请号 ：
CN202011616396.4
公开（公告）日 ：
2021-05-07
申请日 ：
2020-12-30
授权号 ：
CN112762917B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
王晓杨拥军任臣
申请人 ：
中国电子科技集团公司第十三研究所
申请人地址 ：
河北省石家庄市合作路113号
代理机构 ：
石家庄国为知识产权事务所
代理人 ：
秦敏华
优先权 ：
CN202011616396.4
主分类号 ：
G01C19/56
IPC分类号 ：
G01C19/56 G01C19/5776
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-05-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/56
申请日 : 20201230
申请日 : 20201230
2021-05-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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