边缘检测装置

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摘要

本实用新型涉及一种边缘检测装置，多个探测组件，所述探测组件用于检测所述待测对象边缘的待测区域，各所述探测组件均被配置为具有位于待测对象边缘的待测区域的视场区；多个调焦组件，所述调焦组件与所述探测组件一一对应设置，所述调焦组驱动对应的所述探测组件沿其光轴移动，使所述探测组件的视场区聚焦在所述待测对象边缘的待测区域。当晶圆的位置存在偏差时，各个角度的探测镜头都无法成出清晰的像，若通过移动晶圆来使各探测镜头全部对焦成功，效率低且成功率也极低。通过调焦组件调节探测镜头其光轴上的位置，实现单个探测镜头的对焦，依次将各探测镜头对焦即可开始进行检测，调焦效率高、成功率高。

基本信息

专利标题：

边缘检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020007979.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-03

授权号：

CN211743098U

授权日：

2020-10-23

发明人：

范铎张鹏斌陈鲁

申请人：

深圳中科飞测科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

唐清凯

优先权：

CN202020007979.6

主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/66