一种边缘检测设备
授权
摘要

本实用新型提供一种边缘检测设备,所述设备包括:夹片机构,所述夹片机构包括水平设置的夹片台和若干周向间隔设置于所述夹片台外周的夹片杆,所述夹片杆沿夹片台的半径方向向外延伸,所述夹片机构用于固定硅片;驱动机构,所述驱动机构与夹片机构连接,用于驱动所述夹片机构自转或沿第一水平线运动以使夹片机构在转移工位和测量工位之间切换;升降机构,设置在转移工位,所述升降机构包括若干升降臂和设置于升降臂上的机械爪,所述机械爪用于抓取硅片。根据本实用新型实施例的边缘检测设备,可以避免夹片机构与升降机构工作时发生碰撞而导致部件变形甚至损坏,继而避免需要更换部件而导致的成本增加和因设备需要重新调整而导致生产效率降低。

基本信息
专利标题 :
一种边缘检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020883588.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-25
授权号 :
CN210894083U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
王强
申请人 :
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
许静
优先权 :
CN202020883588.0
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01  G01N21/95  G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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