一种用于水冷的陶瓷盘
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于水冷的陶瓷盘，包括呈圆盘状的本体，所述本体上表面具有若干个以本体中心为圆心呈环形的凸起环，所述本体上表面还开若干个以本体的中心为圆心呈环形状的水槽，水槽与凸起环交替设置，凸起环上开有过水通道，相邻水槽之间通过过水通道连通，所述最外层的水槽底边开有两个进水孔，所述最内层的水槽底面开有两个出水孔，所述本体下表面嵌有若干螺纹衬套、若干沉孔、若干定位销孔。抛光通冷却水用于水冷上定盘，防止热变形对硅片抛光造成影响，保持抛光盘温度稳定，减少热变形带来的尺寸变形，提高良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于水冷的陶瓷盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020031091.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-07
授权号 ：
CN211639554U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
杨兆明颜凯中原司
申请人 ：
浙江芯晖装备技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室
代理机构 ：
嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曾勇
优先权 ：
CN202020031091.6
主分类号 ：
B24D13/18
IPC分类号 ：
B24D13/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24D
磨削、抛光或刃磨用的工具
B24D13/00
具有挠性作用的工作部分的轮，如抛光轮；及其固定件
B24D13/18
有冷却装置的
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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