线圈电流分配式的蚀刻机结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种线圈电流分配式的蚀刻机结构，其包括：第一电浆反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一C型线圈，其是上、下排列于第一反应腔室的外围，又每一第一C型线圈具有第一输入端部及第一接地端部；以及第一电源模块，其借由多个第一可变电容，一对一的电性连接于第一输入端部。借由本实用新型的实施，可以动态提供不同的清理能量，以适应反应腔室内不同部位不同厚度沉积物的清理。
基本信息
专利标题 ：
线圈电流分配式的蚀刻机结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020052745.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-10
授权号 ：
CN211125569U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
林志隆蔡兆哲陈俊龙
申请人 ：
聚昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹县湖口乡胜利村光复南路16号
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
寿宁
优先权 ：
CN202020052745.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211125569U.PDF
PDF下载
