一种激光高效大面积动态干涉加工装置
授权
摘要

本实用新型属于激光加工领域,公开了一种激光高效大面积动态干涉加工装置,该装置包括整形激光输出组件,以及二维扫描组件、聚焦扫描场镜(6)和激光干涉系统(7);激光干涉系统用于对激光进行衍射分光处理,得到包括至少两束第1级衍射激光在内的衍射激光,并对衍射激光的传输进行控制,使至少两束第1级衍射激光能够在目标区域重合进而发生光的干涉效应;该光的干涉效应能够用于在待加工工件(10)的目标加工区域上加工形成微纳结构。本实用新型通过对装置的激光干涉加工的原理、相应各组件的设置及配合工作关系等进行分析与设计,能够有效利用现有的振镜扫描组件控制激光干涉区域形成的位置,能够灵活、高效、经济地实现微纳结构的制备。

基本信息
专利标题 :
一种激光高效大面积动态干涉加工装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020080732.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-15
授权号 :
CN212371419U
授权日 :
2021-01-19
发明人 :
邓磊敏段军徐新科熊伟
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
许恒恒
优先权 :
CN202020080732.7
主分类号 :
B23K26/082
IPC分类号 :
B23K26/082  B23K26/0622  B23K26/064  B23K26/70  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/08
激光束与工件具有相对运动的装置
B23K26/082
扫描系统,例如激光束相对于激光头运动的装置
法律状态
2021-01-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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