双斐索腔动态短相干干涉测量装置及方法
授权
摘要

本发明公开了一种双斐索腔的动态短相干干涉测量装置及方法,该装置包括:用于产生两对正交偏振光的双斐索腔短相干照明系统,用于对正交偏振光扩束准直的扩束系统,用于构成s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的双斐索干涉腔,用于对反射光束准直缩束的准直系统,用于调节双斐索干涉腔反射光束中s波的传播方向的s波通道,用于调双斐索干涉腔反射光束中p波的传播方向的p波通道,用于分离s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的反射光束的分光系统,用于获取双斐索腔的干涉信息,并对待测面成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动对波前测量的影响,且具有测量精度高、速度快等优点,可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。

基本信息
专利标题 :
双斐索腔动态短相干干涉测量装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111929036A
申请号 :
CN202010735522.1
公开(公告)日 :
2020-11-13
申请日 :
2020-07-28
授权号 :
CN111929036B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
李建欣宗毅段明亮
申请人 :
南京理工大学
申请人地址 :
江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
代理机构 :
南京理工大学专利中心
代理人 :
朱炳斐
优先权 :
CN202010735522.1
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-05-20 :
授权
2020-12-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20200728
2020-11-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332