一种大口径工作台移相干涉透过波前测量装置
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摘要
本实用新型涉及一种大口径工作台移相干涉透过波前测量装置，属于精密光学检测领域。本装置通过单个压电陶瓷以小推力驱动低摩擦重载工作台沿直线导轨运动，进而带动固定在工作台上的大口径光学元件完成移相；通过三个位移传感器实时、高动态地监测工作台的俯仰和偏摆，进而推算出光学元件的平移和倾斜移相误差，并将其带入消倾斜移相算法，最终从移相干涉图中精确提取出待测透过波前结果。本装置不仅机械结构简单、成本低，而且测量精度不受1)元件口径和重量，2)工作台俯仰和偏摆等运动误差，3)波长调谐所导致的色差和4)干涉腔长度等因素的影响。本装置为大口径移相干涉测量提供了一条高精度、低成本的简便可行途径。
基本信息
专利标题 ：
一种大口径工作台移相干涉透过波前测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020855120.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-20
授权号 ：
CN212059303U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
赵维谦杨帅邱丽荣
申请人 ：
北京理工大学
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村南大街5号
代理机构 ：
北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张利萍
优先权 ：
CN202020855120.0
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G01B11/02 G01B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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