一种大口径工作台移相干涉面形测量装置

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摘要

本实用新型涉及一种大口径工作台移相干涉面形测量装置，旨在解决现有大口径干涉仪难以精确移相、甚至无法移相的难题。本装置通过单个压电陶瓷以小推力驱动低摩擦重载工作台沿直线导轨运动，进而带动固定在工作台上的大口径光学元件完成移相；通过三个位移传感器实时、高动态地监测工作台的俯仰和偏摆，进而推算出光学元件的平移和倾斜移相误差，并将其带入消倾斜移相算法，最终从移相干涉图中精确提取出待测面形结果。本装置不仅机械结构简单、成本低，而且测量精度不受1)元件口径和重量，2)工作台俯仰和偏摆等运动误差，3)波长调谐所导致的色差和4)干涉腔长度等因素的影响。本装置为大口径移相干涉测量提供了一条高精度、低成本的简便可行途径。

基本信息

专利标题：

一种大口径工作台移相干涉面形测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020855140.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-20

授权号：

CN212227989U

授权日：

2020-12-25

发明人：

赵维谦杨帅邱丽荣

申请人：

北京理工大学

申请人地址：

北京市海淀区中关村南大街5号

代理机构：

北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张利萍

优先权：

CN202020855140.8

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24 G01B11/02 G01B11/30 G01B7/02