一种激光直接成像闭环实时检测系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光直接成像闭环实时检测系统，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，用于把数字信号转化成光信号；光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；第一分光反射镜，用于将图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；数据采集装置，与第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像。通过设置分光反射镜将图像分成反射输出和透射输出，透射输出继承原有曝光功能，反射输出配合数据采集装置实时检测成像质量、成像效果，并可利用采集图像比对原始图像进行判断，从而形成激光直接成像的闭环控制。
基本信息
专利标题 ：
一种激光直接成像闭环实时检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020136561.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-20
授权号 ：
CN211741041U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
王瑞梅文辉
申请人 ：
中山新诺科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
赵琴娜
优先权 ：
CN202020136561.5
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/27
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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