激光加热装置及其激光加热闭环控制装置

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摘要

本实用新型涉及一种激光加热装置及其激光加热闭环控制装置，包括激光闭环镜组件、红外测温组件、以及控制组件；激光闭环镜组件安装在激光头出光的方向上，激光闭环镜组件内设有镜片组，使激光头射出的激光穿过和折射，激光闭环镜组件上设有供折射出的光线射出的出光口；红外测温组件与出光口相对，以测取折射出的激光的温度；控制组件分别与激光光纤耦合组件和红外测温组件通信连接，以根据测取的温度信息控制激光头射出的温度。激光加热闭环控制装置能测得激光的温度，并反馈给控制组件，能够精确控制温度和加热时间，返修的效率高，定位精准，并能够有效避免溢出热的产生。

基本信息

专利标题：

激光加热装置及其激光加热闭环控制装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021013276.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-04

授权号：

CN211788944U

授权日：

2020-10-27

发明人：

王文林佛迎

申请人：

深圳市微组半导体科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区松岗街道沙浦社区洋涌工业区8路2号碧桂园厂房6栋401

代理机构：

深圳正和天下专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

杨波

优先权：

CN202021013276.0

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 G01J5/00