本实用新型公开了一种晶圆真空测试设备，涉及硅晶片测试技术领域。该一种晶圆真空测试设备，包括底板，所述底板的上端连接有抽气机构，所述抽气机构的上端连接有放置机构，所述抽气机构包括固定连接于底板上端的处理箱，所述处理箱的内底部上的防噪音箱，所述抽气机构的一端与放置机构相连接，所述放置机构的上端连接有密封机构，所述放置机构的上端连接有升降机构，所述密封机构内设有封盖机构，所述封盖机构的下端延伸至密封机构内。本实用新型就可以使晶圆硅片处于一个真空的环境中检测，进一步的就可以方便工作人员对晶圆硅片进行检测，方便了工作人员的工作，间接的提高了工作人员的工作效率。