一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置

专利权的终止

摘要

一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，包括含矩形槽的加载盘和用于粘结试样的抛光陪片，与试样粘结后的抛光陪片通过内六角圆柱螺钉固定在加载盘的矩形槽侧壁。加载盘底面的矩形槽垂直于加载盘表面，均匀分布于加载盘底面，外圆面上设有与矩形槽数量相同的带沉头螺纹孔，螺纹孔贯穿至矩形槽。抛光陪片的尺寸与试样相同，材料为硅片或与试样相同。本实用新型可保证抛光截面与试样加工表面垂直，抛光完成后，可快速拆卸抛光陪片，方便分离试样，保证检测结果的可靠性，提高检测效率。

基本信息

专利标题：

一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020172726.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-16

授权号：

CN211477810U

授权日：

2020-09-11

发明人：

王华东庞佩

申请人：

浙江师范大学

申请人地址：

浙江省金华市迎宾大道688号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020172726.4

主分类号：

G01N1/32

IPC分类号：

G01N1/32