晶圆转载机构的机械臂校准装置
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摘要
一种晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法，在第一机械臂活动端上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，影像攫取组件具有上取像组件，晶圆定位件装卸机构具有定位刻度，在第二机械臂的活动端上设有晶圆取放机构，晶圆取放机构上设有指示刻度，主校正机构具有下取像组件，下取像组件上方设有具标准刻度的透明片；上、下取像组件分别对该标准刻度取像，可校正该影像攫取组件，并建立该第一机械臂的基准点坐标；下取像组件透视该定位刻度的位置影像，可校正该晶圆定位件装卸机构，并计算出该影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构之间的相对坐标；该下取像组件透视该指示刻度的位置影像，可校正该晶圆取放机构，并建立该第二机械臂的基准点坐标。
基本信息
专利标题 ：
晶圆转载机构的机械臂校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020184611.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-19
授权号 ：
CN212218482U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
宋茂炎
申请人 ：
总督科技股份有限公司
申请人地址 ：
新竹县竹北市泰和里新泰路35号8楼
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
顾浩
优先权 ：
CN202020184611.7
主分类号 ：
B25J9/16
IPC分类号 ：
B25J9/16 B25J19/00 G01B11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J9/00
程序控制机械手
B25J9/16
程序控制
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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