本实用新型公开了硅片夹爪，涉及硅片搬运技术领域。包括夹爪部、连接架、夹爪旋转动力装置、安装架和解码器，夹爪部设置在连接架上，夹爪旋转动力装置通过带动轴与解码器连接，安装架与带动轴固定连接，解码器与夹爪旋转动力装置设置在连接架两侧，旋转轴与夹爪旋转动力装置设置在安装架上。通过解码器的设置使得夹爪旋转动力装置对于夹爪部的旋转角度可以更精密的进行控制，从而使得夹爪在下降的过程中能够实现夹爪部角度的微量调节，从而实现了硅片能够边微量旋转放入倾斜的料盒的功能。