采用柔性连接管路的单晶炉
授权
摘要
一种采用柔性连接管路的单晶炉,包括排气单元、上炉体,所述排气单元包括第一连接管、波纹管、第二连接管、负压组件,所述第一连接管的一端与上炉体的内腔连通,所述第一连接管的另一端与波纹管的一端连接,所述波纹管的另一端与第二连接管的一端连接,所述第二连接管的另一端与负压组件的入口连接,本实用新型中,第一连接管与第二连接管之间采用波纹管柔性连接,与面面连接的硬连接相比,避免了连接过程中存在的偏差,以及两个面局部难以完全接触,从而大大降低了排除因合炉异常导致的额外工作时间,提高了开炉率,提高产量,同时也避免了第二连接管将第一连接管压弯的情况,降低单晶炉损坏率。
基本信息
专利标题 :
采用柔性连接管路的单晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020187305.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-20
授权号 :
CN211921734U
授权日 :
2020-11-13
发明人 :
芮阳马成王忠保
申请人 :
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 :
宁夏合天律师事务所
代理人 :
孙彦虎
优先权 :
CN202020187305.9
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2020-11-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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