一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，包括工艺槽，其内盛装化学溶液；带液滚筒，并排安装于所述工艺槽；槽板花篮，置于所述带液滚筒的顶部；硅片，并排插入该槽板花篮。本实用新型具有能有效增大太阳能电池片的有效面积，以及提高太阳能电池的平均效率等特点。
基本信息
专利标题 ：
一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020212914.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-26
授权号 ：
CN211789060U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
岳丁杰张巧华
申请人 ：
南京和洪智能设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市六合区晓山路609号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020212914.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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