一种高性能气体检测器件用恒温结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种高性能气体检测器件用恒温结构。包括顶层Al3N4基片单元，顶层Al3N4基片单元下表面集成有TEC单元；所述的顶层Al3N4基片单元由一层以上的打孔Al3N4基片在竖直方向上堆叠构成，每层打孔Al3N4基片上均集成有薄膜气敏电阻，每层打孔Al3N4基片的过孔中均填充有填料；处于顶层Al3N4基片单元顶层往里数的第二层打孔Al3N4基片上还埋置有厚膜热敏电阻；分设于TEC单元两端的N、P型半导体，通过过孔形成的通道结构连接到表面键合区；厚膜热敏电阻与用于控制TEC单元电流方向的可控双向开关电路连接。本实用新型能够降低气敏器件内部各组成部分的相关性能参数指标的温度漂移范围，有利于装配的微型化。
基本信息
专利标题 ：
一种高性能气体检测器件用恒温结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020253657.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211905186U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
张昱昕
申请人 ：
中国电建集团贵阳勘测设计研究院有限公司
申请人地址 ：
贵州省贵阳市观山湖区兴黔路16号
代理机构 ：
北京联创佳为专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩炜
优先权 ：
CN202020253657.X
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12 H01L49/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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