一种高性能湿度检测器件用恒温结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种高性能湿度检测器件用恒温结构。包括顶层Al3N4基片(1)，顶层Al3N4基片(1)上表面集成有薄膜热敏电阻(2)，顶层Al3N4基片(1)下表面集成有TEC单元(3)，TEC单元(3)下表面集成有底层Al3N4基片(4)；所述的薄膜热敏电阻(2)上表面集成有绝缘介质层(5)，绝缘介质层(5)上表面经金属化层(6)粘贴有传感信号处理芯片(7)。本实用新型能够降低湿敏器件内部各组成部分的相关性能参数指标的温度漂移范围，同时避免了外贴热电阻等温度传感器件，节省出了外贴器件的装配空间，更加有利于装配的微型化。
基本信息
专利标题 ：
一种高性能湿度检测器件用恒温结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020253029.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211905185U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
张昱昕
申请人 ：
中国电建集团贵阳勘测设计研究院有限公司
申请人地址 ：
贵州省贵阳市观山湖区兴黔路16号
代理机构 ：
北京联创佳为专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩炜
优先权 ：
CN202020253029.1
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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