一种纳米尺度光电响应的测量系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种纳米尺度光电响应的测量系统，包括激励光源、纳米探针传感器、纳米移动平台和控制模块，所述纳米探针传感器包括纳米悬臂和纳米探针，所述纳米移动平台与纳米悬臂刚性相连，所述控制模块与纳米移动平台连接，所述纳米探针在光电器件上方。本实用新型通过采集光致镜像力的方式测量光电器件的光电响应值，避免了外界噪声产生的影响，极大地提高了测量的灵敏度和空间分辨率，可广泛应用于光电响应测量领域。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米尺度光电响应的测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020255864.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211784198U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
陈庚亮席宁
申请人 ：
深圳市智能机器人研究院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区粤海街道粤兴二道1号深圳虚拟大学园重点实验室平台大楼A306
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
黎扬鹏
优先权 ：
CN202020255864.9
主分类号 ：
G01M11/00
IPC分类号 ：
G01M11/00 G01Q60/38
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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