一种全悬浮型小电容探测器
授权
摘要
本实用新型属于光电探测器技术领域，公开了一种全悬浮型小电容探测器。探测器阵列设置有多个阵列分布的探测器单元；探测器单元设置有N型轻掺杂硅基体，硅基体上表面设置有P型重掺杂阴极层、与阴极层间隔设置有P型重掺杂漂浮电极层，硅基体下表面设置有N型重掺杂阳极层；漂浮电极层上表面铺设有二氧化硅层；阴极层和阳极层表面铺设有Al电极层。本实用新型实现了具有超高的能量分辨率和位置分辨率以及超快的时间响应能力的探测器阵列。采用漂浮电极设计，大幅度减小电极面积，从而减小探测器电容，降低噪声。同时减小探测器阵列死区，提高电荷收集率和探测效率。
基本信息
专利标题 ：
一种全悬浮型小电容探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020294096.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-11
授权号 ：
CN211238268U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
李正张新望刘曼文
申请人 ：
湘潭大学
申请人地址 ：
湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘街道湘潭大学
代理机构 ：
重庆市信立达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈炳萍
优先权 ：
CN202020294096.8
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/115 H01L27/146
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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