一种石墨舟校准装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种石墨舟校准装置，包括底座、隔板、第一校准组件和第二校准组件；所述隔板设于所述底座上方，隔板上表面沿长度方向间隔设有若干卡条，所述卡条上开设有多个平行的横向卡槽，隔板上表面两端还分别设有一垫块；所述第一校准组件设有多组，每组包括设于底座和隔板之间的平行于所述卡条且可沿述隔板长度方向进行平移的横柱，以及设于所述隔板一侧并垂直固接于所述横柱的立柱；所述第二校准组件设于所述隔板一端或两端的垫块外侧，包括竖直挡板以及水平设于挡板侧表面的两滑条，所述滑条位于垫块上方且能于所述挡板进行上下滑动。本实用能够实现石墨舟片的精准对齐，且构造简单，操作简便。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020311691.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-13
授权号 ：
CN212426179U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
许琳媛
申请人 ：
浙江华熔科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市长兴县媒山镇南太湖青年科技创业园
代理机构 ：
浙江千克知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈涛
优先权 ：
CN202020311691.8
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 H01L21/673
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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