激光校准装置和激光校准方法

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摘要

一种激光校准装置，包括：激光装置；动态聚焦装置；升降装置；检测装置；振镜装置；控制装置用于根据各实际标点的位置信息与预设的标准标点的位置信息确定位置补偿参数，根据所述位置补偿参数确定第一校正参数，利用所述第一校正参数校正所述振镜装置；控制所述升降装置在第一预设距离内以第二预设距离的步距运动，获取所述检测装置所捕捉的实际标点的热电势信息，根据所述实际标点的热电势信息确定所有实际标点中的最小实际标点，确定形成所述最小实际标点时所述升降装置的位置与所述升降装置的初始位置之间的距离，根据所述距离确定第二校正参数，利用所述第二校正参数校正所述动态聚焦装置，可在平面及高度上对所述激光校正装置进行校正。

基本信息

专利标题：

激光校准装置和激光校准方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113369680A

申请号：

CN202010115824.9

公开（公告）日：

2021-09-10

申请日：

2020-02-25

授权号：

CN113369680B

授权日：

2022-06-10

发明人：

刘建业关子民梁自品高文华戚文军肖苏波阳建煌卓荣秋张健涛

申请人：

广东汉邦激光科技有限公司

申请人地址：

广东省中山市南头镇同济西路23号（宏基工业城一期1幢第一、第二层）

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司

代理人：

孙芬

优先权：

CN202010115824.9

主分类号：

B23K26/046

IPC分类号：

B23K26/046 B23K26/70