本实用新型提出一种厚膜发热电阻快速老化装置，其包括控制模块，控制模块分别与加热模块、电脉冲发生模块、测温模块、测阻模块相连，加热模块用于给放置厚膜发热电阻基板的加热台进行加热；测温模块用于实时测量加热台的温度；测阻模块用于测量厚膜发热电阻基板中发热电阻体的阻值；电脉冲发生模块与探针模块相连，探针模块内的个别电极探针及共同电极探针用于与发热电阻体相连，电脉冲发生模块根据控制模块的控制产生预期电平值的电脉冲，控制模块控制该电脉冲的循环次数。上述厚膜发热电阻快速老化装置配合老化方法的使用，采用外部加热与发热电阻体自身发热协同作用，加剧电荷振动，加速内部残存电荷快速耗散。