热处理设备
授权
摘要
本实用新型提出了一种热处理设备，包括：炉体，炉体具有腔体，腔体具有进风口与出风口；第一均风结构，第一均风结构对应进风口设置，位于腔体内，第一均风结构被配置为适于对通过进入的气流进行分流；第二均风结构，设于腔体，与第一均风结构相对，第二均风结构对应出风口设置，位于腔体内，第二均风结构被配置为适于对通过的气流进行分流；送风机构，送风机构的送风口与进风口相连通。本实用新型提出的热处理设备，气流通过第一均风结构的分流，形成面式的气场，气流进入腔体，再由第二均风结构经出风口流出，由于第二均风结构也是面式的流经气流，可以缩短废气的排出时间，防止腔体内的废气紊乱，在腔体内污染腔体、网链甚至硅片。
基本信息
专利标题 ：
热处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020406996.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN211953589U
授权日 ：
2020-11-17
发明人 ：
罗搏飞吴勇茂
申请人 ：
常州捷佳创智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪海屏
优先权 ：
CN202020406996.7
主分类号 ：
F26B15/12
IPC分类号 ：
F26B15/12 F26B21/00 F26B25/00 H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B15/00
对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备；对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备
F26B15/10
以一条或多条直线形成的路线移动的，例如复合路线
F26B15/12
路线均为水平或略有倾斜的
法律状态
2020-11-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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