一种用于石英管更换的辅助对准装置和一种半导体处理炉
授权
摘要
本实用新型提供一种用于石英管更换的辅助对准装置，所述石英管呈圆柱形，且安装在管座的圆柱形凹槽内，所述辅助对准结构包括：能够固定在管座上方的安装架，所述安装架上设置有可延伸至所述管座上方的承载架，且所述承载架与所述管座之间设置有能够允许所述石英管更换的安装距离；安装在所述承载架上的至少三个激光器，所述至少三个激光器的激光射线指向所述管座，并能沿待更换石英管外圆柱面的不同母线延伸方向射出。本实用新型辅助安装装置利用激光射线进行安装导向，避免设备工程师只依靠眼和手感经验来放置石英管，减少石英管的磕碰损坏，避免因人为原因造成石英管强制报废，节约了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种用于石英管更换的辅助对准装置和一种半导体处理炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020439773.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-30
授权号 ：
CN211788930U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
张浩冉邓伟东
申请人 ：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市黄岛区中德生态园团结路2877号ICIC办公楼4楼
代理机构 ：
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高园园
优先权 ：
CN202020439773.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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