基板对准装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种基板对准装置，利用在基板上形成的目标标记及在对象上形成的对象标记从而执行关于基板目标对准的基板对准装置，其特征在于，包括：摄像机腔室，在真空腔室内部中提供独立密封的大气压收容空间，及对准摄像机，设置于摄像机腔室内部，并且拍摄目标标记及对象标记，及腔室移动单元，使摄像机腔室在真空腔室内部移动，从而可以缩短对准摄像机的运转距离，并且可以调整关于记号的对准摄像机聚焦区域。
基本信息
专利标题 ：
基板对准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551318A
申请号 ：
CN202210127372.5
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2016-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
梁皓植裵埈成方承德卢一镐金范准
申请人 ：
圆益IPS股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
代理机构 ：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郑青松
优先权 ：
CN202210127372.5
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 C23C16/04 C23C16/50
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20160929
申请日 : 20160929
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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