能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质
公开
摘要
一种能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质。能够对准图案的转印装置包括：第一按压单元，对形成有图案的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂的基板进行支承；模具夹具，一部分开放形成以使得模具的中心部朝向基板暴露，并支承模具的边缘部；夹钳，支承模具夹具的两侧边缘而将模具夹具固定于第一按压单元侧，夹钳形成有：下侧滑动部件，在下方支承模具夹具；上侧滑动部件，在上方支承被支承的模具夹具，第一按压单元及第二按压单元中的任一个能够朝向另一个移动，使得模具和基板彼此按压，从而彼此加压而将在模具形成的图案转印于在基板形成的树脂，模具夹具滑动插入到上侧滑动部件和下侧滑动部件之间而被夹钳支承。
基本信息
专利标题 ：
能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114609861A
申请号 ：
CN202210319958.1
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2021-05-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金泰完权相民金准基朴惠贞郑明教郑熙锡
申请人 ：
吉佳蓝科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道华城市
代理机构 ：
北京钲霖知识产权代理有限公司
代理人 ：
李英艳
优先权 ：
CN202210319958.1
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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