本发明提出了一种超低温水汽捕集泵系统无油压缩机，包括一无油压缩机，无油压缩机出料端连接主出管，主出管连接一第三三通，第三三通分别连接有第一支管和冷凝管，第一支管上顺次经过除霜手动隔离阀、除霜电磁阀、第二三通并与第六三通连接，第六三通还连接主回管，主回管自由端与无油压缩机的回料端连接。将系统的有油压缩机更换为无油压缩机，在运行中，无润滑油与压缩气源接触，因此排出的气体绝不含油气。这样也就避免了润滑油进入制冷系统，油在低温状态下凝固造成系统油堵的情况。在整个制冷系统中，都不会有油的情况，从而避免由于油分离不彻底造成制冷系统毛细管堵塞，提高系统稳定性、可靠性，减少油分，也使系统更简洁。