本发明提出了一种应用载冷剂蓄冷的超低温水汽捕集泵管路系统，包括压缩机，所述压缩机出料端连接油分离器，所述油分离器通过一第三三通电磁阀分别连接冷凝管路和热罐管路，所述冷凝管路自由端连接第二三通，所述第二三通连接有与所述压缩机回料端连接的主回管。通过将过余的冷量储存在载冷剂中，避免系统因为过冷而出现压缩机吸气口温度和压力低而引起压缩机停机，从而使得系统进一步稳定运行，提高了设备的使用寿命。在达到相同制冷温度的加热温度的情况下，减少了压缩机的工作负荷，节省了能量的使用。同时，通过高比热容的液态载冷剂来冷却负载冷阱，从而提高冷阱的降温速度，进而更快捕集水蒸气而提高真空镀膜行业的工作效率。