一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统
授权
摘要
为了解决如何使得水蒸汽和油蒸汽在真空镀膜箱体内占比减少的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统，通过水汽捕集机和风冷式冷水机相互配合作用，使水蒸汽抽出快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，提高生产效率，提高镀膜质量的目的，因此，水汽捕集机与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率，提高产品质量，快速吸附真空系统中的水蒸汽，油蒸汽，有效缩短抽真空时间30％～90％，提高镀膜质量，彻底解决膜层颜色不均，容易脱落现象。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020991807.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN212426163U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
李均平贾祥文韩阳黄彩连何怀凤邹健
申请人 ：
苏州锐世讯光学科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区黄桥街道大庄村大民路(东兴模具有限公司南侧200米)
代理机构 ：
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵成磊
优先权 ：
CN202020991807.7
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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