一种适用于真空环境的加热旋转工件台以及真空设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种适用于真空环境的加热旋转工件台，该加热旋转工件台包括用于承载工件的工件盘、用于驱动该工件盘旋转的旋转轴、以及加热部，所述加热部包括感应线圈以及感应加热电源，其中，所述感应线圈设置在所述工件盘背对所述工件的一侧并与所述感应加热电源连接，在所述感应加热电源的作用下所述感应线圈对所述工件盘进行感应加热。相应地，本实用新型还提供了一种配置有该加热旋转工件台的真空设备。实施本实用新型可以实现将工件台加热至超过700℃的高温。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于真空环境的加热旋转工件台以及真空设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020513285.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-09
授权号 ：
CN212163758U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
张诚
申请人 ：
三河市衡岳真空设备有限公司
申请人地址 ：
河北省廊坊市三河市燕郊高新区全景工业园三期33E
代理机构 ：
北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李非非
优先权 ：
CN202020513285.X
主分类号 ：
H05B6/36
IPC分类号 ：
H05B6/36
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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