一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，包括治具本体，设置于所述治具本体内部的夹持组件，以及设置于所述治具本体下方的对心组件；所述夹持组件包括约束于所述治具本体内且仅能沿所述治具本体径向移动的夹持单元，设置于所述夹持单元的尾部且仅能沿所述治具本体的轴线方向移动的顶块；所述对心组件包括对心板、轴体、驱动杆以及连杆。通过利用对心组件对治具相对工件自动对心，并且利用夹持组件顶撑夹持住工件的内壁，使得治具本体固定于工件上，避免因震动影响导致治具本体错位，同时其操作简单拆卸快速。
基本信息
专利标题 ：
一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020520492.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN211651491U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
黄才耀
申请人 ：
湖州科秉电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市成业路389号3号厂房
代理机构 ：
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 ：
周孝林
优先权 ：
CN202020520492.8
主分类号 ：
G01B5/252
IPC分类号 ：
G01B5/252 G01B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/20
用于计量轮廓或曲率
G01B5/22
球径仪
G01B5/252
用于测量偏心度，即两个平行轴之间的横向偏移
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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