一种超纯水热交换系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种超纯水热交换系统,超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路,采用套管换热管路实现循环流体与超纯水的换热,超纯水管路采用软态洁净管路,减少超纯水污染环节,且布置方便;过程中超纯水中的热量通过套管换热管路把热量转移到循环流体中,经第一温度传感器采集循环流体温度信号后,由微电脑处理系统分析匹配控温系统半导体制冷片的输出换热量,从而调节循环流体的温度,进而实现对超纯水的热交换控制;无其他直接接触的部件,回路简单,成本低,实现热交换目的保证半导体工艺制程需求的同时,减少了超纯水污染的可能性,可靠性高。
基本信息
专利标题 :
一种超纯水热交换系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020555515.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-15
授权号 :
CN212299538U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
席海冬金鑫
申请人 :
无锡溥汇机械科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中三路99号
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
柏尚春
优先权 :
CN202020555515.9
主分类号 :
F25B21/02
IPC分类号 :
F25B21/02 F25D17/02 F25D29/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F25
制冷或冷却;加热和制冷的联合系统;热泵系统;冰的制造或储存;气体的液化或固化
F25B
制冷机,制冷设备或系统;加热和制冷的联合系统;热泵系统
F25B
制冷机,制冷设备或系统;加热和制冷的联合系统;热泵系统
F25B21/00
应用电或磁效应的制冷机器、装置或系统
F25B21/02
应用珀耳贴效应;应用能斯特—厄廷豪森效应
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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