一种超纯水热交换系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种超纯水热交换系统，超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路，采用套管换热管路实现循环流体与超纯水的换热，超纯水管路采用软态洁净管路，减少超纯水污染环节，且布置方便；过程中超纯水中的热量通过套管换热管路把热量转移到循环流体中，经第一温度传感器采集循环流体温度信号后，由微电脑处理系统分析匹配控温系统半导体制冷片的输出换热量，从而调节循环流体的温度，进而实现对超纯水的热交换控制；无其他直接接触的部件，回路简单，成本低，实现热交换目的保证半导体工艺制程需求的同时，减少了超纯水污染的可能性，可靠性高。
基本信息
专利标题 ：
一种超纯水热交换系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020555515.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-15
授权号 ：
CN212299538U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
席海冬金鑫
申请人 ：
无锡溥汇机械科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中三路99号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
柏尚春
优先权 ：
CN202020555515.9
主分类号 ：
F25B21/02
IPC分类号 ：
F25B21/02 F25D17/02 F25D29/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25B
制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统
F25B
制冷机，制冷设备或系统；加热和制冷的联合系统；热泵系统
F25B21/00
应用电或磁效应的制冷机器、装置或系统
F25B21/02
应用珀耳贴效应；应用能斯特—厄廷豪森效应
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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