具有自适应性的抛光头

授权

摘要

一种具有自适应性的抛光头，包括枢轴组件、基体及夹片组件，所述枢轴组件由轴体及盘体组成，所述基体上设置有适于与所述轴体配合的轴孔，所述夹片组件上设置有适于与所述盘体配合的凹槽；所述枢轴组件上的轴体与基体上的轴孔配合设置，枢轴组件上的盘体设置在夹片组件上的凹槽内；其特征在于，所述盘体的外周壁设有环形凸缘，所述环形凸缘的外周面与所述凹槽的内周壁之间设置有缓冲件。

基本信息

专利标题：

具有自适应性的抛光头

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020580239.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-18

授权号：

CN211163481U

授权日：

2020-08-04

发明人：

赵德文孟松林王宇

申请人：

华海清科股份有限公司

申请人地址：

天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道9号8号楼

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020580239.1

主分类号：

B24B41/047

IPC分类号：

B24B41/047 B24B41/00 B24B37/32 B24B37/12 B24B37/20