双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统，微波功率源包括微波信号发生单元和系统控制单元，其中，微波信号发生单元包括第一微波信号发生器和第二微波信号发生器；在等离子发生器的激发点火阶段，第一微波信号发生器工作；在等离子发生器由激发点火阶段向维持阶段过渡期间，两个微波信号发生器同时工作；在等离子发生器的维持阶段，至少第二微波信号发生器工作；且系统控制单元控制两微波信号发生器使微波功率源产生的微波信号频率与等离子负载的频率响应匹配。本实用新型使用两个微波信号发生器，一个用于激发等离子并维持至负载稳定，另一个在等离子体激发后，匹配等离子负载所需的频率变化并稳定维持等离子体。

基本信息

专利标题：

双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020590172.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-20

授权号：

CN211671044U

授权日：

2020-10-13

发明人：

林默原章莹姚利峰

申请人：

苏州迈微能等离子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区若水路388号D208室

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

吴芳

优先权：

CN202020590172.X

主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H05H1/46