一种微波等离子体发生装置
授权
摘要
一种微波等离子体发生装置，可解决现有的等离子体反应装置等离子体密度不够高的技术问题。包括波源通过导管和真空腔体结构相连，所述真空腔体结构分别与真空抽气系统、进气系统连通；所述真空腔体结构的内部设置样品台，样品台用于放置样品；所述真空腔体结构还与真空测量系统连通；所述真空腔体结构的外部设置磁体。本实用新型通过设置可以轴向移动的磁体，来改变磁场位型，进而改变被约束的等离子体的分布状态，以满足不同需求的实验参数。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子体发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921824316.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-28
授权号 ：
CN210928112U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
周小影汪锋
申请人 ：
安徽费曼尔科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山经济开发区汶水路电商园三期
代理机构 ：
合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
苗娟
优先权 ：
CN201921824316.7
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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