一种微波等离子发生器
授权
摘要
本实用新型涉及一种微波等离子发生器，包括机箱，气体调节阀的输出端与流量阀的输入端相连，流量阀的输出端与高压阀的输入端相连，高压阀的输出端与微波等离子喷头机构的输入端相连，机箱内还设置有微波发生器，微波发生器的输出端与环形器的输入端相连，环形器通过负载装置与微波等离子喷头机构设置，机箱内设置有PLC控制单元和信号控制板单元，流量阀的信号端与信号控制板单元的输入端相连，信号控制板单元的反馈端与PLC控制单元的输入端相连，PLC控制单元的控制端通过信号控制板单元与高压阀的受控端相连，PLC控制单元的控制端与微波发生器的受控端相连。本实用新型能对产品可达到洁净度10°以内，同时低功率，低带电电压，耗材配件近乎零消耗。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子发生器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921813363.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN210609830U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
徐恒军辛傲宇陆会波
申请人 ：
苏州普洛泰科精密工业有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星龙街428号苏春工业坊17幢A单元
代理机构 ：
苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司
代理人 ：
李丽
优先权 ：
CN201921813363.1
主分类号 ：
H05H1/26
IPC分类号 ：
H05H1/26
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
