一种微波等离子异形处理腔体
授权
摘要
本实用新型公开了一种微波等离子异形处理腔体，包括真空腔体、处理腔以及卡紧结构，真空腔体内部装配有处理腔，处理腔为正多边形结构，处理腔与真空腔体之间设置有卡紧结构，卡紧结构包括吸附磁盘、连接柱、角度调节板以及卡紧垫，真空腔体内壁设置有吸附磁盘，吸附磁盘上固定有连接柱，连接柱另一端安装有角度调节板，连接柱与角度调节板之间设置有连接组件，角度调节板上粘接有卡紧垫，卡紧垫靠近处理腔一侧设置为斜状，本实用新型可以增大处理腔的使用寿命，降低生产成本，能够稳定对处理腔进行安装，增大稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子异形处理腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122949437.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
CN216435834U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
黄嘉杰邬明旭韩文锋于洪威欧阳浩张钦
申请人 ：
合肥优飞材料科技有限公司;中核燃料沧州有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市庐阳工业区兴庐科技产业园2#402,405
代理机构 ：
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 ：
段文静
优先权 ：
CN202122949437.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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