一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，包括进气通路、压缩传输波导以及密封件，进气通路上通过压缩激励腔体密封连接有压缩传输波导，压缩传输波导靠近进气通路一侧安装有密封件，密封件远离压缩传输波导一侧设置有安装在压缩激励腔体内部的阻热板，本实用新型可以使整体处理部分在真空密闭环境下工作，防止处理有毒有害气体时对环境和工作人员的危害，能有效减少现有技术下等离子对的处理腔的刻蚀，大大提高设备的使用时间，缩短维修维护时间，适用于工业生产。
基本信息
专利标题 ：
一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122954534.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
CN216437546U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
黄嘉杰邬明旭韩文锋于洪威欧阳浩张钦
申请人 ：
合肥优飞材料科技有限公司;中核燃料沧州有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市庐阳工业区兴庐科技产业园2#402,405
代理机构 ：
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 ：
段文静
优先权 ：
CN202122954534.6
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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