一种多级级联结构微波激励形式微波炬
授权
摘要
本实用新型公开了一种多级级联结构微波激励形式微波炬，包括水冷环、工业波导以及观察管，至少一组工业波导与水冷环相连，水冷环尾端设置观察管，顶部设置有进气口，水冷环上安装有位于工业波导上方的压缩波导，靠近压缩波导一侧设置有开设在水冷环上的风冷口，压缩波导、水冷环内部设置有真空密封管，本实用新型采用两个或多个微波源及激励腔体串联在石英管、陶瓷管处理腔体上，形成级联形式。可有效增加微波炬的等离子火焰长度，以增加处理物在微波等离子中处理时间和增加相应处理功率的目的，可较好的提高目标处理物的处理效率，及单次处理量、降低设备成本等问题。
基本信息
专利标题 ：
一种多级级联结构微波激励形式微波炬
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122949468.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
CN216437545U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
黄嘉杰邬明旭于洪威欧阳浩张钦
申请人 ：
合肥优飞材料科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市庐阳工业区兴庐科技产业园2#402,405
代理机构 ：
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 ：
段文静
优先权 ：
CN202122949468.3
主分类号 ：
H05H1/34
IPC分类号 ：
H05H1/34 H05H1/42
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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