一种微波等离子装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种微波等离子装置，包括反应室还包括：外框，设置于所述反应室的外部并连通所述反应室；盖板，所述盖板设置于所述外框上；介质层，所述介质层嵌设于所述外框的上表面；第一缓冲带，设置于所述介质层与所述盖板之间；第二缓冲带，环绕设置于所述介质层周侧。本实用新型通过设置第一缓冲带和第二缓冲带，可有效地解决介质层的内应力释放造成的爆裂问题，极大提高了介质层在微波装置中的力学性能和机械性能，提高了设备的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022070296.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN212991035U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
陈先明曹家建朱鸥飞徐祖元徐铭俊董龙刚赵小荣曾琼生
申请人 ：
珠海越亚半导体股份有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市斗门区珠峰大道北3209号FPC厂房
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
俞梁清
优先权 ：
CN202022070296.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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