大区域微波等离子装置
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
适宜在较大区域上维持一个基本均匀的等离子区的微波能量装置。本发明最主要的结构是绕微波施加器设置有一隔离窗，所述隔离窗是由一种微波能通过它从施加器发射到等离子反应容器中的材料构成，该隔离窗的形状能最佳地承受压力，这种方式能使隔离窗的厚度最小，以便快速冷却，从而可达到高功率而不破坏隔离窗。
基本信息
专利标题 ：
大区域微波等离子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1040122A
申请号 ：
CN89102699.1
公开（公告）日 ：
1990-02-28
申请日 ：
1989-03-28
授权号 ：
CN1031072C
授权日 ：
1996-02-21
发明人 ：
乔奇姆·道利尔杰弗尔·M·克雷斯克
申请人 ：
能量转换装置公司;佳能株式会社
申请人地址 ：
美国密执安
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王申
优先权 ：
CN89102699.1
主分类号 ：
C23C16/48
IPC分类号 ：
C23C16/48 H01J37/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/48
辐射法，例如光分解、辐射分解、粒子辐射
法律状态
2009-05-27 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-04-24 ：
其他有关事项
1996-02-21 ：
授权
1991-07-03 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1990-02-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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