本实用新型公开了一种TOF深度测量装置及电子设备，其中TOF深度测量装置包括：发射模组、采集模组以及控制与处理器；其中发射模组用于发射光束，其包括有光源以及光束扫描器，通过光束扫描器偏转光源发出的光束以照射目标物体的给定区域；采集模组用于采集经目标物体反射回的光束，其包括有由像素阵列组成的图像传感器；控制与处理器用于控制所述光束扫描器偏转光束以照射目标物体的给定区域，并基于偏转后形成的光束激活所述图像传感器中相应区域的像素，以响应由给定区域反射回的光束而累积的光电荷，基于该光电荷计算相位差以获得所述目标物体的距离并输出目标物体的深度图像。本实用新型TOF深度测量装置提升图像信噪比的同时可以提高图像的分辨率且降低功耗。