本实用新型涉及半导体制造行业，特别涉及一种EFEM恒温恒湿控制设备，包括恒温恒湿控制设备，所述恒温恒湿控制设备设置EFEM上，即半导体前端模块上，用于对进入半导体前端模块内的洁净空气作进一步的处理，所述半导体前端模块包括外壳以及位于外壳内的缓冲室，其特征在于：所述恒温恒湿控制设备包括过滤组件、加热组件、进风罩、控制箱以及温湿度传感器，所述过滤组件固定设置在加热组件上面，加热组件固定设置在进风罩上，进风罩底部与外壳的顶部固定连接，所述控制箱底部设置在外壳的顶部，所述温湿度传感器设置在缓冲室内。本实用新型用于进一步净化进入半导体前端模块缓冲室内的洁净间的空气，本实用新型整体结构简单，便于操作。