基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备和系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备和系统，将检测到的第一压力值和用户预先输入的第二压力值输入PID控制组件，PID控制组件输出PID流量值。进而，可以确定量程与PID流量值匹配的目标气体质量流量控制器，PID控制组件再根据PID流量值动态调整该目标气体质量流量控制器的开度即可。当达到最小稳定时间后，人机交互组件即可输出此时的PID流量值作为被测系统的漏率。采用本实用新型的技术方案，不需要抽真空，根据被测系统的压力选择量程匹配的气体质量流量控制器，并且基于PID控制组件进行动态调节，能够对柔性材质系统或低耐压性低系统的漏率进行快速检测，充分满足量产的时效性。
基本信息
专利标题 ：
基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020736815.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-07
授权号 ：
CN211784124U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
马弢牛晓杨健张福林
申请人 ：
河北氢禄新能源科技有限公司
申请人地址 ：
河北省沧州市献县经济开发区
代理机构 ：
北京细软智谷知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
葛钟
优先权 ：
CN202020736815.7
主分类号 ：
G01M3/26
IPC分类号 ：
G01M3/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率，例如，用压力响应装置，用流量计
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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