一种腔内冷却等离子清洗腔
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摘要
本实用新型提出了一种腔内冷却等离子清洗腔,包括箱体、位于所述箱体内的清洗腔体,所述清洗腔体背部开设有门体,所述清洗腔体的两侧内壁内嵌有冷却进管和冷却出管;所述门体上设有分别设有第一主管和第二主管,所述第一主管上设有与冷水机连接的进水端并连接有进水软管,所述进水软管与所述冷却进管连接;所述第二主管上设有回水端和与所述冷却出管连接的出水软管;两侧的所述冷却进管和冷却出管在底部连接有集水板,所述集水板上设有若干增压阀,所述增压阀与电极片连接,本等离子清洗腔通过将冷却管等结构设置在箱体内部,并将清洗腔体背部开设门体,在需要拆装时,可直接通过开门检修,即可检修水冷结构和电极结构,提高检修便捷性。
基本信息
专利标题 :
一种腔内冷却等离子清洗腔
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020737955.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-08
授权号 :
CN213436079U
授权日 :
2021-06-15
发明人 :
张永雷
申请人 :
昆山国华电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市周市镇新镇路729号3号房
代理机构 :
苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱丹
优先权 :
CN202020737955.6
主分类号 :
B08B7/00
IPC分类号 :
B08B7/00 B08B13/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-06-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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