一种真空等离子清洗腔
授权
摘要
本实用新型提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构，本等离子清洗腔在腔门口设置了进气板，通过进气板上设置的进气管深入至电极板之间，从电极板上部分别进气，能够保证气体在电极板之间分部均匀，并且设置了匀气机构，保证每根出气硬管出气均匀，提高清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空等离子清洗腔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020738061.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-08
授权号 ：
CN212062379U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
张永雷
申请人 ：
昆山国华电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市周市镇新镇路729号3号房
代理机构 ：
苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱丹
优先权 ：
CN202020738061.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 B08B7/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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